表面近傍の機械的特性評価

摘要

ナノインデンテーション法は、探針を試料表面に押し込むことにより、表面近傍のヤング率や硬さを測定するものである。本稿では、ナノインデンテーション法の基礎的な原理と測定上の問題点を解説し、ナノインデンテーション法に特化した装置はもとより、AFMを利用した測定方法についても紹介する。また、ナノインデンテーション法を応用した耐スクラッチ性や枯弾性特性の評価などについても言及する。