ナノインデンテーションおよび表面弾性波法を用いた表面極近傍の機械的物性評価

摘要

製造技術の発展によりものつくりには，ナノスケールの精度が求められ，また試料サイズ自体もナノスケールへと向かっている。ことに表面における薄膜技術の発展はめざましく，ナノテクノロジーの中核を占めているといえよう。この製造技術の発展を支えるためには，従来法では到底達成できなかった，極表面近傍の機械特性評価法を確立していく必要がある。この要請に応えるべく，東陽テクニカでは，ナノインデンテーション法と表面弾性波法という2つの異なる評価法を紹介している。