直動軸をサブナノメートルで制御する超高精度加工機の開発：リニアモータと空気静圧軸受けを使用し非接触駆動を実現

摘要

日本の金型産業において国際競争力を維持できる一つの分野として超精密加工分野がある。 カメラ付携帯電話、デジタルカメラやCD/DVDのピックアップレンズの金型、液晶の導光板や光通信関連の構成部品用金型は、超精密加工機で製作される。 これら超精密金型加工機には良好な加工面粗さと、悪くとも100μm、できれば50nm未満の形状誤差精度の加工能力が求められる。 また更に再現性の良いことも求められる。 例えば、許容誤差50nmのレンズ金型を加工する場合、加工物の測定結果を元に数回の補正加工を行い、目的の許容誤差範囲内に追い込む。 この際、許容誤差50nmの1/10である5nmの輪郭補正値が正しく反映される加工機でなければ、許容値を満足することは困難である。