Fabrication process of ferroelectric capacitors with self-aligned patterning of top metal electrodes

Soichiro Okamura; Tadashi Shiosaki

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Fabrication process of ferroelectric capacitors with self-aligned patterning of top metal electrodes

机译：顶部金属电极自对准图案化的铁电电容的制造过程

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来源
《ニュ-セラミックス》 |2001年第5期|共5页
作者
Soichiro Okamura; Tadashi Shiosaki;
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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类硅酸盐工业;
关键词

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