加工面を評価する装置と評価事例：表面評価方法と評価装置の現状

摘要

ナノメートルレベルという高い精度の構造制御（加工）は，その精度を保証できる計測技術に裏付けられて初めて実現可能となる．この観点から，とくにナノレベルでの加工（面）を評価する装置，および評価技術の重要性は高い．本特集号の企図するところも，その重要性を再認識するとともに，現状の計測レベルを把握することにあるものと考える．本稿では，加工された表面（および界面）の性状を評価するための分析法と，その現状について概説する．とくに，表面の構造（形態），組成，および電子状態の感度の高い計測手法·装置を中心に説明する．