АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ ТЕПЛОВЫХ ШУМОВ

摘要

Важной задачей исследования сегнетоэлектрических тонких пленок является определение их начальной диэлектрической проницаемости (диэлектрической проницаемости в малом электрическом поле - поле много меньшем коэрцитивного). Для этого представляется удобным использование метода тепловых шумов. В отличие от мостового метода, в этом случае к образцу не прикладывается измерительное напряжение, которое может создать в образце значительное поле, а измеряется зависящее от емкости пленки напряжение тепловых шумов на нагрузочном резисторе, подключенном параллельно к образцу. Ниже описывается автоматизированная установка с использованием LabVIEW. Методика впервые применена к исследованию тонких пленок, обнаружено существенное различие результатов измерений диэлектрической проницаемости тонких пленок мостовым методом и методом тепловых шумов.