ВЛИЯНИЕ ВНУТРЕННИХ КЛЕЕВЫХ СОЕДИНЕНИЙ НА ОСТАТОЧНУЮ АТМОСФЕРУ В ВАКУУМНЫХ ПРИБОРАХ

摘要

Проанализировано влияние газовыделения из внутренних клеевых соединений вакуумных приборов на остаточную атмосферу в них. Показано, что остаточная атмосфера в отпаянном вакуумном приборе с внутренними клеевыми соединениями и встроенным геттером в основном состоит из углеводородов. Рассмотрены методы улучшения вакуума в корпусе приборов. Впервые сделан вывод о том, что обезгаживание клеевых швов в приборе в вакууме при повышенной температуре позволяет уменьшить выделение углеводородов на несколько порядков.