〈特集(1)：電－空比例弁·電－空変換器の構造と応用〉：小型電空変換器－耐振動性を向上させたノズルーフラッパ型

摘要

弊社の電空変換器RTシリーズは、ノズルーフラッパ方式を採用しているため、圧力応答性、圧力安定性に優れている。 しかし、フラッパ構造であるため外部振動の影響を受け易く、使用環境が限定されるという制約があった。 近年、半導体製造装置に代表されるように産業機械の高性能化に伴い、制御機器である電空変換器にも小型で耐振動性に優れた製品が要求されるようになってきた。 しかし、耐振動性を向上させることは、RTシリーズの特長である圧力応答性、圧力安定性を劣化させることになりかねず、相反する要求を満足するには設計上のバランスが重要になってくる。 ここでは上記要求を満たした小形電空変器：RT·SXシリーズの特徴を紹介する。