製造装置におけるリニアモータの技術動向

摘要

本稿では，精密位置決めに用いられるリニアモータの機種と，その特徴およびリニアモータの評価と高性能化技術について述べた．各種のリニアモータは利点と欠点を有しており，用途に合わせた機種の選定が必要である．