40kHz精密超音波加工機による小径深穴加工の現状

摘要

今回は，超音波40kHzの縦波を応用した精密超音波スピンドルに小径ツイストドリルを取り付け，ドリル刃先に超音波微振動を付加した複合加工方法による金属材料や金属·樹脂複合材料の小径穴加工について，その一部を以下紹介する．従来からの超音波加工法は，難加工領域の材料とされている高硬脆性のセラミックス部品や，石英ガラス部品などへの穴あけ加工や，ザグリ加工を高効率·高品質で行う特殊な加工力法として知られている．超音波加工は，主に遊離砥粒加工方式と固定砥粒方式によって行われており，初めにその概要について説明する．図1の遊離砥粒加工方式は，ホーン底面から超音波共振による加速度が溶液中の遊離砥粒に転移し，遊離砥粒を加工表面に衝突させて微小粉砕を繰り返し，ホーン底面形状を加工表面に転写する加工方法である．