TE_(021)モード遮断円筒導波管法を用いたサファイア基板の複素誘電率の周波数依存性測定

摘要

共振周波数が異なる複数の共振器を用いて、TE_(011)モード遮断円筒導波管法により、c面，a面，r面サファイア基板の複素誘電率測定を30-50GHz帯で行ってきた。さらに、その測定範囲を拡張するべく、高次モードであるTE_(021)モードを用いてサファイア基板の周波数依存性測定を行い、25-80GHz帯における誘電特性を明らかにした。さらに、面内異方性がある場合、TE_(011)モードとTE_(021)モードの測定結果に差異が生じたため、その原因に関してシミュレーションにより検討を行った。