シリコン-石英ハイブリッド熱光学スイッチによる低消費電力化

摘要

石英系PLCスイッチの低消費電力化のために、マッハツェンダ干渉計のアーム導波路にシリコン導波路を埋め込hだ、シリコン-石英ハイブリッド熱光学スイッチを開発した。これは、石英に比べ約18倍の熱光学効果を有するシリコンを熱光学位相シフタとして利用し、低消費電力化を行なったものである。本構造を用いた熱光学スイッチを作製·評価したので報告する。