低功耗2×2聚合物热光开关的制备

摘要

设计了一个2×2的多模干涉.马赫曾德干涉仪型(MMI-MZI)波导热光开关，选用一种可交联的负型光刻胶作为波导芯层，利用光刻版掩模紫外曝光后，通过显影得到所设计的波导结构，制作工艺非常简单。实验结果表明该光开关的开关功率为7.5mW。