一种低功耗聚合物热光开关的研制

摘要

介绍了一种低功耗的聚合物Mach-Zehnder型热光开关。采用传统的半导体工艺制作了热光开关器件。通过红外摄像机的接收端观测了波导的近场输出光斑。rn 在电极上施加直流信号，测得热光开关的消光比为16dB，驱动功率为15mw。引入直流偏置网络，测试了器件的开关特性曲线，经测量开关上升和下降时间都为1ms。