大気開放型CVD法の原理と産業展開

摘要

今回は，大気開放型CVD法の原理とその産業展開について概略の説明をおこなった。 大型CVD装置技術に関してはPDP画素製造分野ばかりでなく,ガラス板へのコーティングなど他の製品でのコーティング分野などに利用されることが十分に考えられる。 また高機能酸化物膜の開発ではすでに研究室ベンチャー企業が立ち上がっている。 今後コーティング産業を支える方法に大きく飛躍していくものと考えている。