高精度位相解析可能な動的ESPI装置の開発

摘要

電子スペックル干渉法(ESPI)は粗面物体の変形を非接触で観察し，高精度に定量解析できる光学的手法として，今日では広く用いられている．しかし，市販装置を含めて，これまでに普及しているESPI法は，物体の変形過程を静的に捉え，変形前の状態と変形後の状態がそれぞれ静止した状態として存在することが前提になっている．現実の固体の変形がこのような静的な2状態の間の瞬間的な遷移でないことは日常経験するところである．変形とは，それがどhなにゆっくりであろうとも動的な現象ととらえる必要がある．クリープや応力緩和に見られるように，速度依存性のある変形過程では時間項が重要なパラメータであることはいうまでもない．スペックル干渉法でこのような現象を計測する上では，時間的に連続的に変化するスペックルパターンのみから定量解析をすることが望まれる．