全視野計測における画像処理技術

摘要

モアレ干渉法やホログラフィ干渉法，スペックル干渉法などのレーザー干渉法による微小変形·ひずみ計測，光弾性法による応力分布解析，格子投影法による形状·変形計測などが全視野計測手法としてよく使われている．これらは，非接触で計測できること，高精度であること，高速化が可能であること，2次元の面データとして全視野での計測が可能であることなど多くの利点を有している．これら全視野計測法は，工業製品の品質確認には欠かせない技術である．解析手法としては，干渉縞や光弾性縞，投影格子パターンの光強度変化を波としてとらえ，その位相を解析する手法が近年広く用いられている．最近のコンピュータ技術の進歩，とくにメモリの大容量化と処理の高速化によって全視野計測法の技術も大きく発展している．本稿では，筆者が所属する研究室で用いられてきた全視野計測における画像処理技術を紹介する．まず全視野計測における位相解析について述べ，それを用いた計測例をいくつか示す．次にキャリブレーション手法について述べ，最後に解析に用いる画像処理ソフトを紹介する．