酸化亜鉛系透明導電膜の結晶構造および電気·光学特性の関連性に関する研究

摘要

本学位論文は反応性プラズマ蒸着法およびマグネトロンスバッタ成膜による酸化亜鉛系透明導電膜に関して研究を行った。酸化亜鉛は常温成膜可能な材料であり容易にC軸方向に結晶成長する多結晶構造である。一方で酸化亜鉛系透明導電膜は湿熱環境下での電気特性安定性に課題があり，その要因解析を結晶構造と電気特性との関連性について明らかにした。その研究成果の一部を解説する。