1.5μm帯励起用金属微粒子プラズモニックテラへルツ波検出デバイスの開発

摘要

近年、テラへルツ波技術は、科学やバイオ、物性評価など、様々な分野での応用研究が進められている。このテラへルツ波の発生·検出においては、低温成長GaAs光伝導アンテナ(PCA)が一般に使われており、800nm 波長帯の固体レーザーがその励起光源として広く用いられているが、これを1.5μm波長帯の光ファイバーレーザーに変換することで、システムのコンパクト化、低コスト化、安定した出力等を実現することが可能である。1.5μm波長帯用のPCAとして、局在表面プラズモン共鳴(LSPR)を利用するプラズモニックアンテナの開発が注目を集めているが、一般に、これらの作製には微細加工を施すための高価な機材が必要であり、コストや作成時間が大幅に上昇するというデメリットがある。本研究では、より簡便かつ低コストな方法でLT-GaAs PCAにプラズモニック構造を形成し、1.5μm帯レーザーを使った高感度テラへルツ波検出素子の開発を試みる。その第一段階として、金微粒子を既存のPCA上に蒸着することにより、プラズモニック効果によるテラヘルツ波検出感度の評価を行った。