超低速薄膜／圧電単結晶弾性表面波基板を用いた超広帯域·低損失ー方向性すだれ状電極変換器·共振器及びフィルタの解析と実験

摘要

薄膜グレーティングを用いた弾性表面波一方向性正規型及び分散型変換器、弾性表面波共振器、或いは多層構造の薄膜共振器では、非常に薄い膜厚で、大きな反射係数と低伝搬損失の誘電体薄膜が重要である。 本研究は、弾性表面波の伝搬速度が1000m/s以下の超速度グレーティング薄膜を用いた、非常に薄い膜厚で大きな電気機械結合係数をもつ弾性表面波圧電性基板、非常に薄い膿厚で大きな反射係数をもつグレーティング薄膜を用いた一方向性正規型及び分散型変換器、弾性表面波共振器、この薄膜を多層構造の弾性波共振器に応用した結果について述べる。