圧電振動子ハイパワー計測のための制動アドミッタンス消去方法に関する一検討

摘要

圧電素子の微細加工技術の発展に伴い、内部電界の増大によりハイパワー駆動状態となることで非線形特性の影響が生じやすくなっている。 従って圧電材料開発等においてハイパワー評価の重要性も増していると考えられる。 しかしながら連続駆動法で測定技法の基本となる制動容量消去の従来方法では参照素子の誤差影響や周波数と電流の上限制約を生じやすい課題があった。 そこでそれら制約の影響を受けにくい内部モデルを用いたソフトウエア制御を検討した。 合わせて制動容量のみならず一般的な制動アドミッタンス消去が行えるようにLabVIEWにより実装した例を示す。