電極／回転Y-X LiTaO_3基板及び高温度安定·高結合SiO_2／回転Y-X LiTaO_3基板の擬似弾性表面波の伝搬特性の解析

摘要

電極／回転Y-X LiTaO_3基板、及びSiO_2／電極／回転Y-X LiTaO_3基板の擬似弾性表面波の伝搬特性を解析し、金属電極、誘電体膜を付着させることにより、回転角に対するShort、Openでの伝搬減衰が異なること、及びSiO_2膜厚H/λ（H：SiO_2膜厚、λ：弾性表面波の波長）が0.20付近において、k~2が0.05以上、界面短絡の場合、伝搬減衰が零，周波数温度特性（TCF）が、零でかつ広い温度範囲で良好な温度特性をもち、かつスプリアス特性の良好な基板が得られた結果について報告する。