三角突起構造による小型超音波リニアモータの試作

摘要

単板圧電素子にリン青銅製の三角形状構造体を多数取り付けた多点接触構造による小型超音波リニアモ⊥タを提案，試作し，その基本特性を評価した，圧電素子上の分割電極を二相駆動することで全ての三角突起構遇の先端部分に楕円軌跡を発生させることが可能となる．アクチュエータ構造を有限要素法により設計し，その構造においてリニアモータとしての有効性を実験的に確認した．大きさ3mm×6.2mm×18mmの試作アクチュエータで与圧15gf，負荷2gfに対して，鉄製スライダを14mm/sで直線移動させるととに成功した．