真空紫外光領域における光源開発と短波長光の特長を活かした応用技術開発

摘要

波長が短い光は、高い光子エネルギーを持ち、照射された物質に光化学的な作用を強く及ぼす。また、回折限界角が短波長になればなるほど小さくなり、微少なスポットサイズに集光が可能となる。これらの利点を活かして、計測や加工においては、より波長の短い光が有利とされ、研究開発が進hできた。特に半導体リソグラフィーなどの微細プロセスへの応用においては、短波長の光源とその関連技術の開発は重要である。