産業用大出力高繰り返し全固体レーザーの開発

摘要

我々は750mm長のラインビームによる大画面一括アニール加工への適用を念頭に，平均出力140W，繰り返し率1kHz，パルス幅100ns，波長532nmを目標スペックとして，グリーンパルスレーザーシステムの開発を行った。