FE-EPMAとイオンミリング装置を用いた分析事例

摘要

当社では従来から活躍している熱電子放出型EPMAに加え，今年度新たに電界放出型（フィールドエミッション）EPMA（FE-EPMA）を導入しました（図1）。また，FE-EPMAの能力を最大限に活用するため，試料の前処理装置であるイオンミリング装置も合わせて導入しました（図2）。今回はEPMA及びイオンミリング装置の機能，従来型のEPMAとFE-EPMAの違い，これらの装置による分析事例を紹介します。