真空アーク蒸着法を用い作製したNd-Fe-B系厚膜磁石の磁気特性

摘要

本研究では、真空中において成膜可能、すなわちNdの酸化物の形成の抑制に有利な手法として、真空中でアーク放電を起こし、プラズマ化した陰極材（Nd-Fe-Bターゲット）を蒸着させるという真空アーク蒸着法の原理を即、Nd-Fe-B系等方性厚膜磁石の作製を試みた。加えて、その磁気特性ならびに結晶構造等を評価したので報告する。