МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЗНАЧЕНИЙ ФРАКТАЛЬНЫХ РАЗМЕРНОСТЕЙ ГРАНИЦ РАЗДЕЛА ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ МЕТАЛЛ-ПОЛУПРОВОДНИК ИЗ ИХ СТАТИЧЕСКИХ ПРИБОРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК

摘要

С использованием понятия фрактальных поверхностей было исследовано влияние формы рельефаграниц раздела (шероховатости) и неоднородности потенциального барьера на поведение вольт-ампер-ных и вольт-фарадных характеристик контактов метам-полупроводник с барьером Шоттки. Исполь-зуя математический аппарат дробной размерности Хаусдорфа-Безиковича 2 < р_f< 3в локальном при-ближении, бьии найдены необходимое и достаточ ное условия проведения точных относительных изме-рений рельефа поверхности. Показано, что вследствие фрактальной геометрии, относительное изменение реальной площади границ радела контактов металл-полупроводник с барьером Шот тки происходят пропорционально отношению их линейных размеров в степени 4-D_f,что значительно мед- леннее изменения размеров топологических площадей их контактных окон. На основе полученныхдан-ны х был разработан метод определения значения фрактальной размерности фактической границы раз-дела электрических контактов металл-полупроводник с барьером Шотки из их вольт-амперных ивольт-фарадныx характеристик.