Влияние дипольной поляризации эмитирующей поверхности на пороги автоэмиссии многоострийных кремниевых катодных матриц

摘要

Исследованы закономерности изменений структурно-фазового состава, морфологических и автоэмиссионных характеристик поверхностно структурированных кремниевых пластин различных типов проводимости. Показано, что применение фторуглеродной плазмы в процессе структурирования с использованием углеродного масочного покрытия позволяет получать заданные токи автоэмиссии кремниевых катодных матриц при изменении в широком диапазоне напряженностей внешних электрических полей независимо от изменения коэффициентов усиления поля эмиссионных выступов. Установлена преватирующая роль дипольной поляризации при полевой эмиссии электронов в поверхностно модифицированных кремниевых структурах.