ОБРАЗОВАНИЕ ПЛАЗМЫ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ МИЛЛИСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРА

摘要

Исследована абляция монокристаллического кремния в окружающую среду при воздействии на него миллисекундного оптического лазера марки Nd:YAG с длиной волны излучения, равной 1064 нм. С использованием теневого метода изучен процесс расширения плазмы при плотности энергии лазера 955,4±2736,0 Дж/см~2. Показано, что внешняя граница плазменного факела с течением времени диффундирует в окружающую среду, расширение плазмы происходит как в осевом, так и в радиальном направлении, при этом скорость расширения плазмы в радиальном направлении меньше, чем в осевом. Две центральные линии действия лазера симметричны. Установлено, что максимальная скорость расширения плазмы, равная 162,1 м/с, достигается при плотности энергии лазера, равной 2376.0 Дж/см~2, при этом образуется волна горения. Показано, что в отличие от случая воздействия на монокристаллический кремний короткоимпульсного лазера, при воздействии миллисекундного лазера существует два интервала времени, на которых скорость расширения плазмы увеличивается. При воздействии лазера с большой плотностью энергии происходит вспышка материала.