纳米级芯片在激光产生的等离子体激波除尘时瞬态响应的有限元分析

摘要

本文用有限元方法模拟了纳米级光掩膜(铬膜石英基)在激光产生的等离子体激波除尘时的瞬态响应。激波的压力和速度通过实验拟合得到.在模拟中激波的作用描述为有限元模型的压力与温度边界条件,而激波的传播则根据其速度表现为对离散的膜表面的连续激励.模拟结果表明膜的径向和环向应力主要由铬膜的热膨胀引起,据此改进了实验手段。