隣接チャネル間電気干渉を抑制可能な波長選択スイッチ（WSS）用MEMSミラーアレイ

摘要

波長選択スイッチ（WSS）用として、高フィルファクタで狭ピッチ·多チャネル化に適する二軸回転可能なMEMSミラーアレイを開発した。ミラーアレイの隣接チャネル間で発生する電気的干渉を抑制するため、シミュレーションによる解析を行い、ミラー駆動用アクチュエータ部に電界分離用電極を配置する電極構造を設計した。開発した小型気密封止パッケージ構造を適用し、試作した50chミラーアレイモジュールにおいて、良好な駆動特性、および電気干渉低減効果を確認した。