変形計測過程の情報のみを用いた高分解能スペックル干渉計測法の開発

摘要

スペックル干渉計測法は，粕面をもつ物体の変形計測法として有効なものであるト4）．この計測法では，－般に，変形前後のスペックルパターンが収録され，これらのスペックルパターン間の強度分布の差の二乗演算あるいは絶対値演算を行うことによってスペックルグラムを求め，その結果として，測定対象の変形畳を縞画像として得ることができる．