ПОДСИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ ПРОЦЕССОМ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

摘要

Рассмотрены проблемы организации производства интегральных схем. Разработана подсистема управления технологическими процессами производства пробных партий интегральных схем для дальнейшей организации серийного производства. При производстве интегральных схем предложено применять модуль оптимизации технологических процессов для построения математической модели с учётом причинно- следственных связей между показателями качества элементов схем.