電子顕微鏡を用いた物性解析技術開発の最新動向

摘要

ナノスケール領域でゐ物質の構造·物性評価のためには，ナノスケールの空間分解能を有する電子顕微鏡が有力な解析装置である。 構造解析に関しては，分光型電子顕微鏡を用いた収束電子回折法（Convergent-beam Electron Diffraction；CBED）で精密構造解析だけでなく価電子の空間分布の解析まで可能とをりつつある。 電子状態解析は，EELSが最も有効な手法と思われる。モノクロメータ内蔵電子銃を搭載した汎用EELS電子顕微鏡の開発が行われており，ナノプローブと0.2eVの分解能の汎用化が間近に追っている。 そのEELSを補う分析手法としてのXES装置の汎用化開発も行われており，高分解能EELSに匹敵するエネルギー分解能を実現しつつある。 X線発光スペクトルの高分解能測定が汎用化できれば，電子顕微鏡で特定した微小領域から·CBEDを用いた精密結晶構造解析と価電子の空間分布解析 ·EELSを用いた誘電関数，伝導帯状態密度の解析 ·XESによる価電子エネルギー分布（状態密度分布）の解析 が可能となり，ナノスケールでの総合的な構造·物性解析が実現される。