マイクロデバイスへの応用--セラミックス集積化技術の事例

摘要

セラミックスのペーストやスラリーを，印刷またはコーティングなどの手法で塗布し，それを焼結することで微細パターンや薄膜等を作る技術は，工業的に様々な分野で応用されている．この技術分野での本質は，ペースト中におけるセラミックス粒子の分散性が良く，粒子濃度の高い成型体が作れることである．これらのペーストの粒子の大きさがどhどh小さくなるにつれ，さらに高度な分散技術が要求されているが，同時により微細な構造が作れるようになったことは注目すべきである．