米国Zygo（ザイゴ）社の「Zygo New View6000」（写真1）は光干渉方式である走査型白色干渉計(Scanning White Light Interferometry)とZygo社の特許である独自開発技術FDA（Frequency Domain Analysis：周波数領域解析）により、非接触、短時間、高精度、広範囲測定を可能にする。 又、走査型白色干渉計は測定試料の下処理が不要である事、1～100％の反射率のサンプルであれば測定可能、サンプルの材質を問わないといった測定の汎用性の高さも特長の1つである。 以上の特長からZygo New View6000は表面粗さ測定に関しては有用な測定機といえる。 本稿では「Zygo New View6000」の基本測定原理から表面粗さ測定の事例として「研磨面」及び「機械加工面」に着目した測定技術、事例に関して紹介する。
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机译：美国Zygo（Zygo）“Zygo New View 6000”（照片1）是一种扫描白光干涉测量（扫描白光干涉测量学）和Zygo的专利技术FDA（频率域分析：频率区域分析允许非接触，短时间，高准确性和广泛的测量。 而且，扫描白色干涉仪不需要治疗测量样品，如果是1至100％反射率的样品，则表征了对样品材料无关的测量的多功能性。它是一种。 从上述功能，Zygo新视图6000可以说是用于表面粗糙度测量的有用测量机。 在本文中，我们介绍了专注于“抛光表面”和“机加工平面”的测量技术和案例，作为“Zygo新视图6000”的基本测量原理的表面粗糙度测量的情况。
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