銅ナノ粒子を利用した焼結接合技術

摘要

電力エネルギーの効率と再生可能エネルギーや自然エネルギーの比率を高めるためパワーモジュールに注目が集まっている.そのパワーモジュール内で耐熱性が必要とされるチップ下の接合部には，Pb含有率85%以上の高鉛含有はhだも使用され続けており，有害物質フリー化対策が望まれている.そこで金属ナノ粒子を用いた接合プロセスが注目を集めており，その現状を概説するとともに，Cuナノ粒子を利用した焼結接合技術の特徴について解説する.