最先端電子顕微鏡技術: ALCHEMI－HARECXS法

摘要

前回1）は，電子顕微鏡において試料から発生したⅩ線を利用する解析手法として，局所領域に存在する元素の同定とそれらの組成を測るⅩ線エネルギー分散分光法を取り上げた．そこでは，測定される特性Ⅹ線の強度が入射電子線の全照射量に比例するという前提で解析が進められる．このような条件は，厳密に言えば回折図形において透過波スポット以外に散乱強度ピークが見られない場合に成立する．したがって，Ⅹ線エネルギー分散分光法で結晶性試料の合金組成を精度良く求めるには，強い回折が生じない方向（擬運動学的条件）から電子線を試料に入射させなくてはいけない．