機能性材料における表面処理技術の現状と展望：表面偏析制御による真空中低摩擦表面の実現

摘要

真空中（10{sup}(-5)Pa以下）では固体表面同士が接触すると接触箇所からガスが放出され真空環境を劣化させるばかりか，清浄表面が暴露されやすいために接触箇所で焼き付きが起きる場合がある．このような真空中で円滑な動作を駆動機構に行わせるためにはその表面に潤滑性を付与しなければならない．そこで，表面偏析現象を応用して大気圧雰囲気(～10{sup}5Pa)と同じように真空中でも円滑な摺動が可能となる表面を創製することを試みてきた．ここでは真空中での低摩擦表面を実現する表面偏析現象を制御する手法について概説したい．