高性能湿式除塵装置の開発·製品化

摘要

本稿では，新しい発想による新技術に基づく排ガス中の異種物質の除去·除害装置「ミューセパレータ」について述べる。 とくに光ファイバー，ポリシリコンなどの製造現場において，サブミクロンからナノミクロンの粒子径に移行している作業環境において，SiO{sub}2などの粉塵の除塵·集塵に利用される洗浄法による「ミューセパレータ」について述べる。