プラントエンジニアリングメモ（33回）：真空リーク量の推定

摘要

真空ポンプやエジェクター仕様として，吸込圧力と吸込量とを決めなければならないが，吸込量としては発生ガス量以外に大気から真空装置系（ドラム，配管）への漏れ（リーク空気）量を考慮しなければならない。