データ取得が従来の5分の1,画形状を3方式で測定できる3D測定顕微鏡

摘要

日本レーザーは，データ取得時間を従来の5分の1に短縮した3D測定顕微鏡「S neox」の発売を開始した。共焦点と光干渉，焦点移動の3方式による表面形状の3D測定ができ，滑らかな面から凹凸のある粗面まで1台で対応する。価格は概算で約1500万円（税抜き）となっており，今年度は10台の販売を目指す。同社が4月12日に発表した。S neoxはスペインのセンソファー·メトロロジー社製で，同社の3D測定顕微鏡では第5世代に当たる。サブナノ，ナノ，マイクロスケールでの面形状測定を目的に設計されており，アクティブ照明焦点移動方式とHDR（ハイダイナミックレンジ）アルゴリズムの採用によって，滑らかな鏡面や透明体の表面測定も可能だ。