マイクロ化学プラント用計測機器（ゼロロスセンシング）の開発

摘要

近年，マイクロリアクタと呼ばれる微少流路内に化学反応場をつくることで，従来の化学プラントにおけるバッチプロセスでは実現できないような化学物質の製造を実現できる可能性をもつプロセスがある。特に医薬品やファインケミカルなど高付加価値の機能性材料の少量生産に適していると考える。しかし，マイクロプラントにおける計測技術は実験機器用としては開発がなされているが，マイクロプラント技術を用いた本格的工業プラントに耐えうるようなスケールでの専用センサは現状では見あたらない。当社でも従来マイクロ化学プラントで使用していたセンサは市販されている物から選択していたが，マイクロプラントでは微少流路を使用するため不向きであり，新たなセンサの開発を行った。本稿では開発した温度センサならびに圧力センサ，高圧自動調節弁の紹介を行う。