クリーンルーム大気中の有機成分の分析--シリコンウエー八破砕粉捕集法

摘要

半導体デバイスやその製造プロセスにおいて高集積度化が進み,有機成分による汚染が問題視されている。 ビス(2-エチルへキシル)フタレー卜（以下,DOPと結記）などの可塑剤は．大気中にこく徹墨に存在しぞいても,酸化膜の耐圧不良を引き起こす原因となることか知られこおり,このような．デハイス特性に悪影響を宅える商機成分の分析評価技術の開発が必要とされている。 　 そこで,当社は，シリコンウ工ーハ破砕粉を摘集村とすることにより,ウリーンーム大気中のシリコンウエーハ上に吸着しやすいDOPなどの南磯成分を,選択的に捕集·分析する方法を開発し,0.01ng／m~3レルの測定を可能とした。