電子ビーム物理烝着プロセスによる酸化物セラミツクスコーテイいグ技術

摘要

コーティングは材料の表面改質技術の--方法で，部材表面に特性の異なる皮膜を付与し，部材全体として高機能化を実現するものです。 エネルギー機器部材では,例えば，耐摩葦毛性などの機械的性質が要求される水車や蒸気夕ーピン部材に対して，炭化物系のセラミックスコーティングを適用するなど,近年，セラミックスコーティングを施した高機能部材が多く使われてきています。 エネルギー機器部材のセラミックスコーティングに要求される機能には，上に述べた耐摩耗性に加えて，耐熱性など熱的特性の改善，耐食性など化学的特性の改善，絶縁性など電気的特性の改善が期待されています。 ∫话悚耍畅`ティングのプロセスは，めっきを代表とするウェットプロセスと,蒸着を代表とするドライブロセスに大別されます。 セラミックスのコーティングではドライブロセスが用いられていますが，このプロセスは汎周性が高く，多層化など複雑な膜構造形成が容易なことから，各種表面機能を複合化するのに適した方法です。