回転角制御機能を備えた流体駆動スピンドルの開発と回転角制御

摘要

超精密工作機械は，各種光学部晶の創成に欠かせない． 例えば，高機能ガラスレンズ用金型，LED用金型などは 超精密工作機械で作られている．超精密工作機械の加工 性能を決定するのがスピンドルであり，ナノメートルオ ーダの高い回転精度と高い軸受剛性が必要である．また， 多様な加工様式に対応するために，スピンドルの回転数 制御と回転角制御の両方が求められている．本論文では， 新たに考案開発した流体駆動スピンドルの開発結果を示 した上 導出したスピンドルの数学モデルから，スピン ドルの回転数制御と回転角制御の両方が実現できること を理論的に示した上，実際に構成された制御系によって スピンドルの制御性能を明らかにしたものである．