超広視野レーザ走査イメージャ欠陥検査装置の概要

摘要

レーザを走査する技術の歴史は古く、約40年ほどの歴史がある。多面鏡（ポリゴンミラー）を回転させてレーザを走査する方式が現在のレーザプリンタに発展した。産業用途に使用されているプリント基板製作用のレーザ走査型直接描画装置などでは数は少ないが重要な装置となっている。一方、ラインセンサやCCDカメラ等を用いた欠陥検査装置は画像処理で欠陥異物検出を行い多方面に応用され欠陥検査装置では主力になっている。