遠赤外線カメラのシャッタレス動作と微小温度差計測

摘要

当社の遠赤外線カメラには、フランスULIS社のマイクロボロメータ型の非冷却ディテクタを搭載している。その構造を図1に、SEM写真を図2に示す。受光面は2層構造となっており、MEMS技術により成型される。この上層の薄い板で赤外線が吸収され、温度が上昇することにより抵抗値が減少する。