水素拡散誘起変態を利用したチ夕ンの低温精密接合

摘要

チタンは，融点や比強度が高く，優れた耐食性および生体適合性を有することから，化学プラント，航空宇宙磯器，精密磯器，生体材料など様綾な分野で適用されている。特に，MEMS（Micro Electro MechanicalSys－tems）を含む精密機器分野では，高性能デバイスとしてのチタンの適用が強く期待されている。チタン製の精密機器やデバイスの製造においては，無変形かつ精密な接合技術の開発·確立が求められる。